Аналогичные приборы издавна назывались вакуумными манометрами, а применялись они для измерения параметров давления газов, которые находятся в зоне разряжения. Впервые стали использоваться, когда экспериментальным путем было доказано об существовании разряженного пространства и возможность создания вакуума искусственным путем.
Не секрет, что состояние газов может быть однородным или многокомпонентным, поэтому и давление существует парциальное, т. е. отдельно взятого компонента газа, или полное. В вакуумной технике эти давления измеряются разными приборами. Имеет большое значение тот факт, где именно снимать аналогичные показания: точечно или обобщенно.
Содержание:
- Что представляет собой вакуумный датчик давления
- Какой диапазон измерений у вакуумных датчиков
- Устройство вакуумного датчика
- Вакуумные датчики и вакуумметры — достоинства и недостатки
- Какие типы вакуумных датчиков бывают
- Как выбрать вакуумный датчик
- Лучшие производители вакуумных датчиков
- Вакуумные датчики Edwards — какие лучше выбрать
Что представляет собой вакуумный датчик давления
Такие устройства берут на себя функции регулятора, который не только контролирует давление, но и регулирует движение рабочего потока в замкнутом пространстве. Именно от качественной работы датчиков контроля давления зависит безопасность вакуумных систем, потому что при резком возрастании внутреннего избыточного давления установка может взорваться.

Что представляет собой вакуумный датчик давления
Классификация этих изделий производится по стандартной работе, а делят их на три постоянные группы:
- Деформационного типа, они измеряют реальное давление, могут охватить довольно большой диапазон:1 атм—1•10-3 бар, когда применяются мембранные датчики — до 1•10-7 бар. К механическим изделиям относятся те датчики, показание которых не зависит от свойств газов, потому что применяется прямое измерение.
- Тепловые. В основе функционирования лежит кардинальное изменение теплопроводимости, которое напрямую зависят от параметров измерения. К этому типу относятся вакуумметры Пирани, а также устройства на основе термопар, которые могут измерить пределы давления до 10-7 бар.
- Ионизационные. К этому классу относятся приспособления, у которых в конструкции имеется охлажденный или нагреваемый катод. Устройства способны ионизировать газы и замерять получаемый ток.
Третий вариант применяется в тех случаях, когда нужно выполнить замеры в диапазоне 1•10-5—5•10-15 бар.
Какой диапазон измерений у вакуумных датчиков
Диапазон измерений вакуумных датчиков варьируется в зависимости от их типа и предназначения. Основные диапазоны включают:
- Мембранные датчики: от 1 атм до 1×10-3 бар, они используются для измерения давления в условиях низкого и среднего вакуума.
- Термопарные и вакуумметры Пирани: от 1×10-3 до 1×10-7 бар, что делает их идеальными для работы в среднем вакууме.
- Ионизационные датчики: от 1×10-5 до 5×10-15 бар, они подходят для измерений в высоком и сверхвысоком вакууме.
Устройство вакуумного датчика
Изделие конструктивно состоит из двух основных частей, одна из которых используется для перевода изменения чувствительности механической части в электрический импульс — блок измерения. Другая часть — производит перерасчет параметров давления в другие единицы, а также выдает информацию об уровне разжижения на данном участке измерения. Использовать такие анероиды несложно и под силу любому пользователю: нужно только вставить устройство в специально выполненное для него углубление и снимать показания стрелки, т. к. вся конструкция заключена в единый корпус.

Устройство вакуумного датчика
Все производители аналогичных изделий стремятся усовершенствовать приборы, объединяя в удобном корпусе небольшого размера обе главные части: механическую часть и считыватель измеряемого давления. Такая конструкция имеет название моноблочной. В современной модификации вторая часть или отсчетное устройство изготавливается в виде жидкокристаллического дисплея, что сделано для удобства считывания, — такими моделями удобно пользоваться в труднодоступных местах с плохим освещением.
Вакуумные датчики и вакуумметры — достоинства и недостатки

Вакуумные датчики и вакуумметры — достоинства и недостатки
Современные датчики давления подразделяют на пять основных типов, поэтому их плюсы и минусы будем рассматривать по категориям.
Тензометрические датчики
Имеется и другое название — КНС-преобразователи.
Преимущества:
- максимальная защита при работе с агрессивными средами;
- способность выдерживать высокие температуры;
- многие годы выпускается серийно;
- низкие цены.
Минусы:
- нестабильность зависимости между сигналами на входе и выходе или градуировочной характеристики, которая не устраняется;
- высокое отставание, запаздывание показаний или гистерезисный эффект во время проведения замеров;
- на показания сильное влияние оказывают ударные и вибрационные нагрузки.
Пьезорезистивные датчики
Положительные качества:
- Стабильные технические характеристики.
- Устойчивость к механическим и вибрационным нагрузкам.
- Отсутствие запаздывания или отставания в показаниях.
- Точные замеры.
- Малая цена.
- Могут производить замеры в любой среде.
Негативные свойства:
- существуют температурные ограничения.Датчики емкостные
Достоинства:
- высокая точность замеров;
- стабильность характеристик;
- могут замерять низкие параметры вакуума;
- довольно простая конструкция.
Минусы:
- емкость зависит от измеряемого давления;
- надо использовать специальную аппаратуру или электрическую схему, чтобы преобразовать емкостную зависимость в стандартный импульс на выходе.
Датчики резонансного типа
Плюсы:
- стабильные технические параметры;
- точность измерения.
Недостатки:
- нужна дополнительная защита, чтобы сделать замеры агрессивной среды;
- длительность отклика;
- преобразование параметров давления в электроимпульсы индивидуальные;
- высокая цена.
Оптоэлектронные датчики
Позитив:
- простое использование;
- низкая температурная чувствительность;
- высокие разрешающие способности;
- уникально точные замеры.
Негатив:
- нужно встраивать в микропроцессорную систему.
Анализируя выше представленные данные, приходим к выводу, что лучшее соотношение у пьзорезистивных устройств — шесть плюсов против одного минуса, а на втором месте — оптоэлектронные изделия с результатом 4:1.
Какие типы вакуумных датчиков бывают
Основные типы вакуумных датчиков включают:
- Механические датчики: Простые и надежные устройства, использующие механическую деформацию для измерения давления. Подходят для задач, не требующих высокой точности.
- Термопарные датчики: Применяются для измерения среднего вакуума, используя изменение теплопроводности для определения давления.
- Вакуумметры Пирани: Идеальны для измерения низкого и среднего вакуума, особенно в условиях, где требуется высокая точность.
- Ионизационные датчики: Незаменимы для высоковакуумных систем, обеспечивая точные измерения в условиях ультравысокого вакуума.
- Оптоэлектронные датчики: Предлагают высокую точность и устойчивость к температурным колебаниям, часто используются в интеграции с микропроцессорными системами.
Как выбрать вакуумный датчик
При выборе вакуумного датчика следует учитывать несколько ключевых факторов:
- Диапазон измеряемого давления
Определите, в каком диапазоне давлений будет использоваться датчик. Если вам требуется измерение в среднем вакууме, подойдут термопарные или вакуумметры Пирани. Для ультравысокого вакуума предпочтительны ионизационные датчики. - Тип среды
Убедитесь, что датчик совместим с типом газа или смеси газов, с которыми будет работать система. Некоторые датчики могут давать разные показания в зависимости от состава измеряемого газа. - Условия эксплуатации
Важно учитывать рабочие условия, такие как температура, влажность и наличие агрессивных веществ. Выбирайте датчик, который выдерживает эти условия без потери точности. - Точность и чувствительность
В зависимости от требований вашего процесса, выбирайте прибор с необходимым уровнем точности. Для высокоточных задач подойдут пьезорезистивные или оптоэлектронные датчики.
Лучшие производители вакуумных датчиков
Рынок вакуумных датчиков представлен несколькими ведущими производителями, которые предлагают высококачественное оборудование:
- Edwards — Один из лидеров в производстве вакуумных технологий, предлагающий широкий ассортимент датчиков для различных применений.
- Pfeiffer Vacuum — Известен своими высокотехнологичными решениями для ультравысокого вакуума.
- Leybold — Производит надежные и точные вакуумные датчики для промышленности и науки.
- INFICON — Специализируется на разработке и производстве высокоточных датчиков и контроллеров для вакуумных систем.
Вакуумные датчики Edwards — какие лучше выбрать
Измерительные устройства играют чрезвычайно важную роль в работе любого вакуумного оборудования — от насосов низкого давления до сложнейших криогенных установок, потому что они предназначены для эффективного мониторинга всех параметров и управления технологическими процессами.

Вакуумные датчики Edwards — какие лучше выбрать
Английская компания Edwards предлагает широкий ассортимент аналогичных изделий, среди которых пользователи могут найти приемлемый вариант для своих нужд: цифровые устройства с напряжением питания 15-48V, пассивные или портативного вида датчики.
Измерительные изделия с логотипом EDWARDS рассчитаны на полный диапазон измерений давления вакуума до 1*10-12 мбар.
Вакуумные датчики играют ключевую роль в обеспечении безопасности и стабильности работы вакуумных систем. Их выбор зависит от конкретных условий эксплуатации и задач, стоящих перед пользователем. Независимо от типа датчика, важно учитывать диапазон измерений, условия работы и требования к точности, чтобы обеспечить оптимальную работу оборудования и предотвратить аварийные ситуации.

