Диапазон измерения, Па·м3/с: 1 - 5x10^(-13)
Время отклика по входу, с: 0,5
Время отклика со щупом, с: 3
Напряжение, В: 220
Минимальный регистрируемый поток гелия - метод щупа, Па·м3/с: 5x10^(-9)
Минимальный регистрируемый поток гелия, Па·м3/с: 7x10^(-12)
Страна: Российская Федерация
Скорость форвакуумной откачки, м3/ч: 1
Скорость откачки по гелию, л/с: 10
Стартовое давление, Па: 10000