Оборудование для промышленного вакуума
| Производитель | PHPK Technologies |
| Страна | США |
| Тип | Криогенный |
| Вес, кг | 18,6 |
| Назначение | Промышленный |
| Серия | CVI Torr Master |
| Модель | TM150 UHV |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 1700 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 2500 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 1400 |
| Время охлаждения, мин | 60 |
| Вход и выход | UHV 8x10 10" OD |
| Емкость аргона, л | 1100 |
| Емкость водорода, л | 10 |
| Кроссовер, мбар·л | 206 |
| Пропускная способность по аргону, торр-л/с | 11 |
| Скорость откачки по H2O, л/с | 4500 |
| Температурный режим, °С | до 100 |
| Категория | Вакуумный насос |
