Оборудование для промышленного вакуума
| Производитель | MKS Instruments |
| Страна | США |
| Тип | Цифровой |
| Мощность электродвигателя, кВт | 0,5x10^(-4) |
| Напряжение, В | 30 |
| Вес, кг | 0,009 |
| Назначение | Промышленный |
| Модель | Series 905 Micro Pirani Sensor KIT Series 900 |
| Вход и выход | KF16 |
| Габаритные размеры, мм | 48x82 |
| Диапазон показаний, торр | 1×10^(-5) - 760 |
| Интерфейсный разъем | RS485/RS232 |
| Температура отжига, °C | 130 |
| Температура хранения | от -10 до 55 |
| Температурный режим, °С | от 5 до 40 |
| Точность | 5% |
| Категория | Вакуумметр |
| Тип сенсора | Пирани |
| Материалы, обращённые в вакуум | Кремний, SiO2, SiN4, эпоксидная смола, золото |
