Оборудование для промышленного вакуума
| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 240 |
| Охлаждение | Водяное Воздушное |
| Вес, кг | 14 |
| Назначение | Промышленный |
| Серия | EMT |
| Модель | EMT420M |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 400 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 300 |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 4,5x10^3 |
| Вибрация, мкм | 0,01 |
| Вход и выход | 160 ISO-F, 160 CF / 25 KF |
| Категория | Вакуумный насос |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
