Оборудование для промышленного вакуума
| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 230 |
| Охлаждение | Водяное Воздушное |
| Вес, кг | 29 |
| Назначение | Промышленный |
| Серия | EBT |
| Модель | EBT1400F |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 1400 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 750 |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 4,3x10^3 |
| Вход и выход | 200 ISO-F, 200 CF / 40 KF |
| Категория | Вакуумный насос |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
