Оборудование для промышленного вакуума
| Производитель | Brooks Automation |
| Страна | США |
| Тип | Криогенный |
| Вес, кг | 118,2 |
| Назначение | Промышленный |
| Серия | OnBoard |
| Модель | OnBoard 500 |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 10000 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 12000 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 8400 |
| Время охлаждения, мин | 225 |
| Емкость аргона, л | 6000 |
| Емкость водорода, л | 45 |
| Пропускная способность по аргону, торр-л/с | 6 |
| Скорость откачки по H2O, л/с | 30000 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-10) |
