Оборудование для промышленного вакуума
| Производитель | Brooks Automation |
| Страна | США |
| Тип | Криогенный |
| Вес, кг | 77 |
| Назначение | Промышленный |
| Серия | OnBoard |
| Модель | OnBoard 400 High Capacity |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 12000 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 5000 |
| Время охлаждения, мин | 150 |
| Вход и выход | NW 25 ISO KF |
| Емкость аргона, л | 2500 |
| Емкость водорода, л | 42 |
| Пропускная способность по аргону, торр-л/с | 6 |
| Скорость откачки по H2O, л/с | 16000 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Скорость откачки, л/с | 6000 |
